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分子泵开启条件

2024.08.01

分子泵是一种利用高速旋转的转子将动量传输给气体分子,从而将气体压缩并驱向排气口的真空泵。要开启分子泵,需要满足以下条件:

1、前级泵的压力必须达到一定水平:分子泵不能直接对大气排气,需要配置前级泵,并且前级泵的压力必须达到10Pa才能打开分子泵的高阀。
2、冷却水必须开启:在开启分子泵前,必须打开冷却水阀,以保持转子的冷却和润滑。
3、气路接口必须正确连接:气路接口的快接法兰螺杆应朝上,以防松弛造成漏气。

 分子泵启动后需要等待数小时至一整夜的时间,才能开启质谱仪进行操作。 具体时间长短受到泵的型号、压力、环境温度以及泵内油的种类和质量等因素的影响。 同时,在启动前需要对分子泵进行前处理,并将真空室抽取至低于10^-2 torr的真空度。